激光干涉儀是當今納米時代的長度基準，也是先進制造業（機床、光刻機，航空、航天等）制造精度的保證。激光干涉儀的“激光”是HeNe激光器。鐳測科技研究成了“可伐-玻璃組裝式”結構的HeNe激光器，終結了我國靠玻璃吹制HeNe激光器的歷史。這一長期堅持的研究打通了單頻氦氖激光器→雙折射雙頻激光器→雙頻激光干涉儀的全技術鏈條，批產，獲得了廣泛認可。雙頻激光器和干涉儀已在北京鐳測科技有限公司批產，并在國內、德國、韓國等得到廣泛應用。

    雙折射雙頻激光器不僅用于國產雙頻激光干涉儀，也用于運行中的光刻機的年度替換。同時，提供了科研單位的科學研究。該激光器替換進口正在服役的光刻機的原有激光器，使光刻機機臺誤差由24 nm下降到6 nm。中國計量科學院測試表明，此雙頻激光干涉儀測量70 m長度誤差小于5 μm，非線性誤差小于1 nm。

來源：光電匯OESHOW